第709章 深紫外光的多重曝光技术！
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桌面上重重叩了两下。
“别高兴得太早，支持归支持，科学不是请客吃饭。”
老人起身，走到墙边那张巨大的设备分布图前，指着中间一块红色的区域。
“你的方案我看懂了，设计理念确实超前，甚至可以说天才，但你忽略了一个最致命的物理极限——光刻精度。”
“国内现在能动用的最好设备，拼了老命也只能做到零点一八微米，而你这个器件，要把性能拉满，至少得达到零点零九微米。”
零点一八到零点零九。
看似只是几个数字的差距，实则是横亘在华夏半导体工业面前的一道天堑。
许哲的心猛地往下一沉。
前世他虽然是搞金融的，但也对华夏的其他行业一知半解，知道这就是所谓的“摩尔定律”死结。
没有ASML那种顶级的EUV光刻机，想要强行突破物理极限，无异于痴人说梦。
难道真的要死在这里？
不对。
许哲脑中灵光一闪，前世的一篇技术研报突然浮现在脑海。
在EUV光刻机普及之前，尼康和佳能曾经用过一种“笨办法”来延续摩尔定律。
“张老。”
许哲猛地抬头，眼里的光亮得吓人，“如果是死路，我们就换个走法。”
“既然单次曝光达不到精度，能不能放弃传统光刻逻辑，改用深紫外光的多重曝光技术？”
张院士夹烟的手在半空中停住了。
“多重曝光？”
“对！既然波长受限，那我们就用计算换精度。”
“把原本一层光刻的图形拆分成两层甚至三层，利用现有设备的深紫外光源进行多次错位曝光，再通过化学刻蚀修剪。”
“虽然步骤繁琐了三倍，良品率会暴跌，但理论上，这能不能在零点一八的机台上跑出零点零九的效果？”
死寂。
整个办公室安静得只能听见墙上挂钟“咔哒、咔哒”的走字声。
张院士手里的烟燃到了尽头，烫到了指尖他才猛然惊醒。
他像看怪物一样盯着许哲，嘴唇微微哆嗦。
第709章 深紫外光的多重曝光技术！
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第709章 深紫外光的多重曝光技术！ 重生99：开局睡了姐姐闺蜜
